KPFM&EFM 测试样品

KPFM and EFM test sample

荷兰M2N供应的KPFM & EFM测试样品专为评估开尔文探针力显微术（Kelvin Probe Force Microscopy, KPFM）和静电力显微术（Electrostatic Force Microscopy, EFM）的成像性能而设计。该标准样品采用氧化硅覆盖硅基底（SiO₂/Si）的微纳加工工艺，由交替排列的铝（Al）和金（Au）金属线阵列构成。其结构特征如下：

①线宽周期：4、8、20及40 μm四组阵列

②线间间隙：0.5-0.8 μm（亚微米级间隔）

③线结构高度：约35 nm（通过台阶仪或原子力显微术（AFM）标定）

2. 多层堆叠结构：

①基底架构：硅芯片（搭载金属线阵列）→ Ø12 mm玻璃载片 → Ø15 mm金属载盘

②总厚度：1.5 mm（符合标准样品台兼容性要求）

3. 电学连接设计：Al/Au电极通过超薄铜导线（thin-film Cu interconnects）引出至外围焊盘，支持样品表面电势的接触式测量校准。

KPFM & EFM测试样品可以实现：

①KPFM功函数对比度测试（Al/Au功函数差异~1.1 eV）

②EFM空间分辨率验证（亚微米间隙的静电梯度场检测）

③探针灵敏度的横向/纵向定量标定

注：使用前建议通过扫描电子显微术（SEM）或光学显微术（OM）进行微区定位，并依据ISO 17025标准进行仪器校准。

KPFM & EFM测试样品技术规格如下：

具有钢结构工程专业承包二级资质、建筑工程施工总承包贰级资质；公司主营产品包括重钢、轻钢、网架及檩条、彩钢板等钢结构产品；近年来，公司承接了国内外大型结构件、桥梁、车库、标准化厂房等具有较大影响力的一系列项目；产品远销白俄罗斯、赞比亚、印尼等国家，得到了一致好评。

关键词： KPFM&EFM 测试样品