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用于SEM的晶圆样品台
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用于SEM的晶圆样品台
Wafer holders for SEM
荷兰M2N供应的晶圆样品台专门设计用于直径为 51mm（2英寸）、76mm（3英寸）、100mm（4英寸）、150mm（6英寸） 和 200mm（8 英寸）的半导体晶圆。同时可与平边或缺口的晶圆兼容。样品台设计有独特的锁定滑轨且可调节，以便处理非标准晶圆。由真空铝和自润滑黄铜制成，带有不锈钢弹簧、导销和固定螺钉。
EM-Tec晶圆样品台的优点：
- 低剖面、重量平衡的支撑盘
- 方便使用晶圆镊子的方形切口
- 弹簧可调
- 可对非标准晶圆进行调整
- 自润滑锁定滑轨
- 兼容带缺口的晶圆或带平边的晶圆
- 兼容所有类型的SEM 载物台适配器
兼容性强：
标准销钉，可安装在使用标准销钉的 SEM 上；包括TFS、FEI、飞利浦、蔡司、LEO、徕卡、Tescan、AmRay、Cambridge Instruments、CamScan、ETEC 和 Novascan 等品牌的SEM。
日立的M4螺纹孔样品台，兼容日立的SEM、FESEM ，以及EM-Tec多功能通用SEM载物台适配器。
JEOL圆柱形样品台，兼容JEOL的SEM，，以及EM-Tec带Ø14m的载物台适配器。
晶圆样品台的容量和尺寸规格表
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容量和尺寸规格表
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具有钢结构工程专业承包二级资质、建筑工程施工总承包贰级资质；公司主营产品包括重钢、轻钢、网架及檩条、彩钢板等钢结构产品；近年来，公司承接了国内外大型结构件、桥梁、车库、标准化厂房等具有较大影响力的一系列项目；产品远销白俄罗斯、赞比亚、印尼等国家，得到了一致好评。
关键词： 用于SEM的晶圆样品台
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